夏属兖州域，商为蒲姑国地，周为齐国境，春秋战国为齐地。
秦： 置厌次县，属齐郡。秦始皇以东南有天子气，乃东巡以厌（厌读压）之，次舍于此，故名。县治在今县城15公里的桑落墅北。 汉：西汉改厌次县为富平县，属青州刺史部平原郡。王莽篡汉后改富平为乐安亭。 62 年（东汉明帝永平五年），复改为厌次县，仍属平原郡。 晋： 名厌次，属冀州刺史部所辖乐陵国，刺史部驻厌次。 北魏： 名厌次，县治迁马岭城（今何坊镇二郎堂村北二里处），属沧州乐陵郡。 北齐： 556 年（天保七年） 废厌次，将原厌次县并入阳信县，县治马岭城，属乐陵郡。 596 年（开皇十六年）复置厌次县，属棣州，县治迁至北旧州城（今辛店镇先棣州村一带）。
606 年 （大业二年） 废棣州， 厌次县属沧州。不久，废沧州，复置渤海郡，厌次属渤海郡。
唐：621年（武德四年）由沧州析置棣州，厌次属棣州。
625 年（武德八年） ，废棣州，厌次属沧州。
627年（贞观元年），厌次县改属德州。
643 年（贞观十七年） 复置棣州，州治驻厌次。
垂拱四年(688)，析蒲台、厌次两县置渤海县，属棣州。
758 年 （乾元元年）改乐安郡为棣州，厌次属棣州。
五代： 厌次属棣州。
907 年（后梁开平元年）棣州刺史华温琪为避水患，将州治与县治均迁于厌次东南（今清河镇乡古城马村一带）。 1015 年（大中祥符八年）迁州治、 厌次县治至阳信县界乔子镇之八方寺（今惠民县城址）。州辖厌次、商河、阳信3县，属河北东路。 金： 厌次属山东东路棣州防御郡。
元： 中统三年（1262年）以滨州与棣州合并，置滨棣路，厌次县随棣州属之。
至元二年(1265年)，撤销滨棣路，厌次县随棣州属济南路。
明： 1368（洪武元年） ，废厌次县，域地入棣州。 1373年棣州改为乐安州，不辖县。
1426 年 （宣德元年）以讨平汉王朱高煦据乐安谋反，改乐安州为武定州（意为武力平定州境），属济南府。 清： 初仍为武定州地。
1724 年（雍正二年），武定州为山东布政使司直隶州。 1734 年（雍正十二年），武定州升为武定府，始置惠民县（因城东南 20 里有惠民沟而定名，此沟明景泰中凿。嘉靖十四年大水，佥事王煜，再加疏浚，民甚赖之，故名），为武定府的附郭县。
1914 年，改岱北道为济南道，惠民县改属济南道。 1925 年，置武定道，为道治所。
1928 年废道制，惠民县直属山东省。
1936 年国民党于惠民县城置山东省第五行政区督察专员公署，惠民为专署驻地，专署辖惠民、阳信、滨、商河、青城、高苑、桓台、长山、邹平等9县。 1937年七七事变后，国民党山东省政府设鲁北、鲁西、胶东三个行署，下设17个行政督察区，1938~1942年间，各区先后成立行政督察专员公署，惠民县属第十行政督察区（驻滨县？不确定）。
1945年，国民党山东省政府撤销三个行署，设立鲁北（第一，领五、十、十四3区）、鲁西北（第二，领四、六2区）、鲁西（第三，领二、十一、十六3区）、鲁南（第四，领一、三、十五3区）、鲁中（第五，领八、十二、十七3区）、鲁东（第六，领七、九、十三3区）6个政府办事处，惠民属鲁北办事处第十行政督察区。
1947年，山东省政府撤销6个政府办事处，设鲁东（辖七、十三、十七3区）、鲁西南（辖一、二、三、十一、十六5区）两个行署，撤销九、十二2区，并调整区划，惠民县属第五行政督察区。
1948年6月，撤销鲁东、鲁西南两个行署，六、七、十三、十七4区因专员公署溃散而消亡，其余残留。
1948年9月24日，济南解放，国民党山东省政府垮台。
【1939年12月中共抗日民主政权于惠民县第二区一带设立惠民县行政工作委员会，隶属于鲁北行政委员会； 1940年5月撤销。
1942年9月，中共于惠民、商河2县毗连地区置商惠县抗日民主政府， 属冀鲁边行政区第三专区。
1944年1月，中共成立渤海行政区，辖清河（专署驻桓台县）、恳利（专署驻阳信县）、泺北（专署驻临邑县）、沧南（专署驻南皮县）四专区，行政公署驻惠民县。
1944年3月商惠县属渤海行政区第二专区。同年11月于惠民、济阳、商河3县毗连地区设立惠济商3边县，亦属渤海第二专区。
1945年10月，撤销商惠县、惠济商三边县，建立惠民县民主政府，同时析县城及其郊区（一区、二区）和阳信县一部置惠民市，市政府驻惠民城，其余地区属惠民县管辖，县政府驻何李村（属第三堡乡） 。县、市均直隶于渤海行政区，该市为中共渤海区党委和渤海区行政主任公署驻地。 1946年10月市、县均属渤海行政区第四专区。1946年12月析惠民、济阳各一部置杨忠（惠济）县，属渤海行政区第二专区。
1948年4月惠民市撤销，其行政区域分别划入惠民县及阳信县。】
1949 年 4 月，中共惠民县党政机关由何李村一带迁入惠民城。
1949 年 5 月，杨忠县改称惠济县。
中华人民共和国， 1950 年 5 月，渤海区撤销，辖区调整设立河北省沧州专区和山东省惠民、德州、昌潍、淄博四个专区，惠民专区党政机关驻惠民县城，辖惠民、阳信、无棣、沾化、滨县、蒲台、博兴、齐东、高青、广饶、利津、垦利共12县。惠济县撤销，其辖区分归惠民、济阳、商河三县。 1952年10月，惠民专区领导机关由惠民县城关镇迁驻滨县北镇。
1958年11月，惠民专区与淄博市合并为淄博专区，专区领导机关迁驻张店，惠民县改属淄博专区。同时，滨县并入惠民县，并将滨县阎家人民公社划归沾化县； 1961年1月，经国务院批准，撤销淄博专区，恢复惠民专区，专区领导机关迁回北镇。惠民县复属惠民专区。
1961 年 4 月 10 日，惠民县、滨县分治，惠民县原辖 13 处人民公社改为 13 个区，县政府迁回惠城。惠民县属惠民专署所辖。
1978 年，惠民地区革命委员会改为惠民地区行署，惠民县属之。1992年3月，惠民地区更名为滨州地区，惠民县属之。 2000年6月10日，国务院批准（国函[2000]59号），撤销滨州地区和县级滨州市，设立地级滨州市，惠民县属于滨州市。
1989年10月30日，将第三堡乡的铁角李、西村两个自然村划归淄角镇管辖。
1994年12月29日，撤销姜楼乡、清河镇乡、魏集乡、申桥乡，设立姜楼镇、清河镇、魏集镇、申桥镇。
1995年12月18日，撤销麻店乡，设立麻店镇。
1996年12月25日，撤销省屯乡，设立省屯镇。
2001年，撤销省屯镇，并入惠民镇；撤销联伍乡，并入姜楼镇；撤销梁家乡，并入石庙镇；撤销香翟乡，并入何坊乡；撤销三堡乡，并入辛店乡；撤销申桥镇，并入李庄镇；撤销陈集乡，并入胡集镇。
至2002年12月31日，惠民县辖10个镇、4个乡：惠民镇、石庙镇、桑落墅镇、淄角镇、李庄镇、胡集镇、麻店镇、姜楼镇、清河镇、魏集镇、何坊乡、皂户李乡、辛店乡、大年陈乡。
2006年，经山东省政府批准，惠民县惠民镇更名为孙武镇。
2010年，撤销孙武镇，以其原行政区域和原何坊乡的部分行政区域设立孙武街道和武定府街道；何坊乡、辛店乡、大年陈乡3个乡调整为镇。
2011年，撤销何坊镇设立何坊街道，撤销皂户李乡设立皂户李镇。至此，全县辖3个街道、12个镇：孙武街道、武定府街道、何坊街道、石庙镇、桑落墅镇、淄角镇、胡集镇、李庄镇、麻店镇、魏集镇、清河镇、姜楼镇、辛店镇、大年陈镇、皂户李镇。
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