山西省：清沿明制为省。省治太原府。
冀宁道：沿明制，驻太原府，领太原府、汾州府、潞安府、泽州府、平定州、辽州、沁州。
河东道：沿明制，驻蒲州/蒲州府，领平阳府、蒲州府、解州、绛州、隰州、吉州；
乾隆三十七年(1773)增领霍州，而吉州降；
嘉庆十二年(1807)移驻安邑县运城。
雁平道：康熙十年(1671)置，驻太原府代州/代州，领大同府、朔平府、宁武府、代州、忻州、保德州。
归绥道：乾隆六年(1741)置，驻绥远城厅，领绥远城厅、归化城厅、萨拉齐厅、清水河厅、托克托厅、和林格尔厅；
光绪十年(1884)增领丰镇厅、宁远厅；
光绪二十九(1903)年增领兴和厅、陶林厅、武川厅、五原厅；
光绪三十二(1905)年增领东胜直隶厅。
太原府：冲繁难，首府。
阳曲县：冲繁难，倚郭。府同知驻王封镇。
太原县：冲繁。
榆次县：冲繁难。
太谷县：繁。
祁 县：冲繁。
徐沟县：冲繁难。
交城县：简。
文水县：繁难。
岢岚州：简。
岚 县：简。明属岚州，雍正三年(1725)直属府。
兴 县：简。明属岚州，雍正二年(1724)改属保德直隶州，八年(1730)改属府。
清源县：乾隆二十八年省入徐沟县为清源乡。
汾州府：冲繁难。
汾阳县：繁疲难，倚郭。
孝义县：繁。
平遥县：冲繁难。
介休县：冲繁难。府同知驻张兰镇。
石楼县：简。
临 县：简。
永宁州：冲繁难。
宁乡县：简。明属永宁州，雍正三年(1725)直属府。
潞安府：繁疲难。
长治县：繁难，倚郭。府分防同知驻太义镇，县丞驻西火镇。
长子县：冲。县丞驻鲍店镇。
屯留县：冲。
襄垣县：冲。
潞城县：简。
壶关县：简。
黎城县：简。
平顺县：乾隆二十九年(1764)省入潞城、壶关、黎城三县(旧县城改为潞城县平顺乡)。
泽州府：冲难。明泽州直隶州，雍正六年(1728)升府。
凤臺县：冲繁难，倚郭。
高平县：冲繁。
阳城县：难。府同知驻东冶镇。
陵川县：简。
沁水县：简。
平阳府：冲繁难。
临汾县：冲繁难，倚郭。
洪洞县：冲繁。
浮山县：简。
岳阳县：简。
曲沃县：冲繁难。
翼城县：难。
太平县：冲繁难。雍正二年(1724)改属绛州直隶州，七年(1729)复。
襄陵县：难。雍正二年(1724)改属绛州直隶州，七年(1729)复。
汾西县：简。雍正二年(1724)改属隰州直隶州，九年(1731)复。
乡宁县：简。雍正二年(1724)改属吉州直隶州，乾隆三十六年(1772)复。
吉 州：繁。明属府，雍正二年(1724)升直隶州；乾隆三十七年(1773)降散州复。
蒲州府：冲繁难。明蒲州属平阳府，雍正二年(1724)升直隶州，六年(1728)升府。
永济县：冲繁难，倚郭。雍正六年(1728)置。府同知驻永乐镇。
临晋县：冲繁难。
虞乡县：难。雍正八年(1730)析临晋县置。
荣河县：难。
猗氏县：冲繁。
万泉县：难。
大同府：冲繁难。顺治五年十二月(1649)徙治阳高卫，更名阳和府，九年(1652)复，徙故治。
大同县：冲繁难，倚郭。顺治五年十二月(1649)徙治怀仁县西安堡，九年(1652)复。
怀仁县：冲。
浑源州：难。顺治十六年(1659)省安东中、前二所入。
应 州：冲。顺治十六年(1659)省安东中屯卫入。
山阴县：冲。明属应州，雍正三年(1725)直属府。
阳高县：冲。明阳和、高山二卫，顺治七年(1650)省高山卫入阳和卫，更名阳高卫；雍正三年(1725)改置。
天镇县：冲。明天成、镇虏二卫，顺治七年(1650)省镇虏卫入天成卫，更名天镇卫；雍正三年(1725)改置。
广灵县：简。明属蔚州，雍正三年(1725)直属府。
灵邱县：简。明属蔚州，雍正三年(1725)直属府。
朔平府：冲繁难。雍正三年(1725)于右玉卫置。
右玉县：冲繁，倚郭。明大同右卫、玉林卫，顺治七年(1650)省玉林卫入大同右卫，更名右玉卫；雍正三年(1725)改置。
朔 州：冲繁难。明属大同府，雍正三年(1725)改属府。
左云县：冲。明大同左卫、云川卫，顺治七年(1650)省云川卫入大同左卫，更名左云卫；雍正三年(1725)改置。
平鲁县：冲。明平虏卫，清初更名平鲁卫；雍正三年(1725)改置。
马邑县：明属朔州，雍正三年(1725)改属府，嘉庆元年(1796)省入朔州为马邑乡。
宁武府：冲。明宁武所(在崞县)，雍正三年(1725)改置。
宁武县：冲，倚郭。雍正三年析崞、静乐二县(1725)置。
偏关县：冲。明偏关所(在河曲县)，雍正三年(1725)改置。
神池县：冲。明朔州神池口巡司，雍正三年(1725)置。
五寨县：冲。明五寨城堡(在镇西卫)，雍正三年(1725)镇西卫改置。
辽州直隶州：繁。
本 辖：
和顺县：简。
榆社县：简。
沁州直隶州：冲繁。
本 辖：
沁源县：简。
武乡县：简。
平定直隶州：冲繁。明平定州属太原府，雍正二年(1724)升直隶州。
本 辖：州判驻乐平乡。
盂 县：冲。明属太原府，雍正二年(1724)改属直隶州。
寿阳县：冲繁。明属太原府，雍正二年(1724)改属直隶州。
乐平县：嘉庆元年(1796)省入平定州本辖为乐平乡。
解州直隶州：繁难。明解州属平阳府，雍正二年(1724)升直隶州。
本 辖：
安邑县：冲繁难。州判驻运城。
夏 县：冲繁。
平陆县：简。县丞驻茅津。
芮城县：难。
绛州直隶州：繁难。明绛州属平阳府，雍正二年(1724)升直隶州。
本 辖：
垣曲县：繁。明属州，雍正二年(1724)改属解州直隶州，七年(1729)复属直隶州。
闻喜县：繁。明属解州，雍正二年(1724)直属平阳府，七年(1729)改属直隶州。
绛 县：简。明属州，雍正二年(1724)直属平阳府，七年(1729)复属直隶州。
稷山县：难。
河津县：冲繁。明属蒲州，雍正二年(1724)改属直隶州。
隰州直隶州：繁。明隰州属平阳府，雍正二年(1724)升直隶州。
本 辖：
大宁县：简。
蒲 县：简。明属平阳府，雍正二年(1724)改属吉州直隶州，九年(1731)改属直隶州。
永和县：简。
霍州直隶州：冲繁难。明霍州属平阳府，乾隆三十七年(1773)升直隶州。
本 辖：
赵城县：冲。明属平阳府，乾隆三十七年(1773)年改属直隶州。
灵石县：冲。明属平阳府，乾隆三十七年(1773)年改属直隶州。
忻州直隶州：冲繁。明忻州属太原府，雍正二年(1724)升直隶州。
本 辖：
定襄县：繁。
静乐县：冲。明属太原府，雍正二年(1724)改属。
代州直隶州：冲繁难。明代州属太原府，雍正二年(1724)升直隶州。
本 辖：
五臺县：难。
崞 县：冲。
繁峙县：简。
保德直隶州：冲繁。明保德州属太原府，雍正二年(1724)升直隶州。
本 辖：
河曲县：冲。明属太原府，雍正二年(1724)改属直隶州。乾隆二十九年(1764)徙治河保营。
归化城直隶厅：冲繁疲难。雍正元年(1723)置归化城厅，属大同府[治西河]，八年(1730)改属朔平府；乾隆六年(1741)升直隶厅，二十五年(1760)徙治归化城。
本 辖：
绥远城直隶厅：？？？？。乾隆四年(1739)置。
本 辖：
萨拉齐直隶厅：冲繁疲难。乾隆四年(1739)置萨拉齐、善岱二协理通判，二十五年(1760)改置，省善岱协理通判入。
本 辖：
清水河直隶厅：繁疲难。乾隆元年(1735)置清水河协理通判，二十五年(1760)改置。
本 辖：
丰镇直隶厅：繁疲难。雍正十二年(1734)置丰川卫[治高庙子]、镇宁所[治衙门口]，统于大朔理事通判；乾隆十五年(1750)改置丰镇厅，属大同府，三十三年(1768)徙治衙门口；光绪十年(1884)升直隶厅。
本 辖：
托克托直隶厅：繁疲难。乾隆元年(1735)置托克托协理通判，二十五年(1760)改置。
本 辖：
宁远直隶厅：冲疲难。雍正十二年(1734)置宁朔卫[治亦不汉契]、怀远所[治后营子]，统于大朔理事通判；乾隆十五年(1750)改置宁远厅，属朔平府；光绪十年(1884)升直隶厅。
本 辖：
和林格尔直隶厅：繁疲难。乾隆元年(1735)置和林格尔协理通判，二十五年(1760)改置。
本 辖：
兴和直隶厅：要。光绪二十二年(1796)以丰镇厅二道河巡司置。
本 辖：
陶林直隶厅：要。光绪二十九年(1903)以宁远厅科布尔巡司置。
本 辖：
武川直隶厅：要。光绪二十九年(1903)以西土默特牧场北境翁滚置[拟治乌兰花，寄治归化城]。
本 辖：
五原直隶厅：要。光绪二十九年(1903)析萨拉齐西境兴盛旺(一说大佘太)置[拟治隆兴长，寄治萨拉齐厅包头镇]。
本 辖：
东胜直隶厅：要。光绪三十三年(1907)以鄂尔多斯左翼中、右翼前末二旗垦地置[拟治羊壕厂，寄治萨拉齐厅包头镇]。
本 辖：
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注①：大同府/大同县：因顺治五年末大同总兵反清，占据府城，故府县均徙治。
