1992年8月，晋城市人民政府决定建立晋城经济技术开发区。10月21日，晋城市人民政府发出《
关于印发<晋城市经济技术开发区管理办法>的通知》（
晋市政发〔1992〕
89号）和《关于印发<晋城市经济技术开发区建设方案>的通知》（晋市政发〔1992〕90号）。
1993年4月，山西省人民政府备案为市级开发区。同年7月10日，开发区动工。
1997年3月12日，山西省人民政府以晋政发〔1997〕27号文批复：将晋城经济技术开发区列为省级开发区，名称为“山西省晋城经济技术开发区”，规划面积4km2。
2000年12月29日，晋城市人民政府将晋城市城区钟家庄办事处郝匠居委、东谢匠居委、东吕匠居委、二圣头居委和晋城市泽州县金村镇侯匠村等5个行政村(居委)成建制划归开发区管理。
2004年，根据国土资源部和国家发展改革委员会等部门有关要求，确定山西晋城经济开发区规划范围和四至界线——东至城市规划绿化带，西至规划文化路，北至晋煤集团铁路专用线，南至二圣头居委南。
2006年1月26日，通过国家发改委设立审核，公告名称为晋城经济开发区。
2009年12月29日，中共晋城市委、晋城市人民政府决定将新区9个社区（村）及旧区现有5个 社区（村）共14个杜区（村）整体划归开发区托管。新划入的9个社区（村）为城区钟家庄办事处的东田石、南田石、金匠、耿窑、茶元，泽州县苇元、青杨掌、东阳、下庄等杜区（村）。2010年1月7日，托管交接大会召开。
2012年2月，山西省人民政府批准（晋政函〔2012〕17号），将晋城经济技术开发区异地扩区5.85km2（金匠北区）。
2013年3月3日，国务院办公厅批准（国办函〔2013〕44号），山西晋城经济开发区升级为国家级经济技术开发区，定名为晋城经济技术开发区，规划面积4km2。
2017年5月12日，根据2016年12月1日山西省开发区改革创新发展电视电话会议精神要求，晋城市人民政府召开开发区扩区整合、剥离社会职能协调会议，决定将晋城经济技术开发区管委会承担的基层党建、工青团妇及其他社会职能，按属地管理的原则，将东谢匠、东吕匠、郝匠、二圣头、东田石、南田石、金匠、耿窑、茶元等9个社区全部移交给城区，城区建立开发区街道；苇元社区移交给泽州县大箕镇，青杨掌社区、东阳社区、下庄社区移交给泽州县南村镇，侯匠社区移交给金村镇。
2017年7月，依托主区及金匠工业园的“一区一园”，通过整合北石店工业园、巴公装备制造园区和北留周村工业园，形成“一区四园”发展格局，规划面积扩大至86.8平方公里。
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