1993年1月4日,1月4日 市政府决定成立阳泉经济技术开发区管理委员会。
1993年2月,市委、市政府决定,从郊区桃北市郊结合部划出平潭垴、上五渡、下五渡、河坡、王垅5个行政村(1992年12月7日),辖区面积10.56平方公里,设立阳泉经济技术开发区,属市政府派出机构,规格为副市级。其中3.83平方公里为规划建设面积,分东西两区。西区为起步区,面积1.33平方公里,主要安排教育、科研、金融、商业、办公、居民住宅以及无污染的工业项目;东区为扩展区,面积2.5平方公里,主要安排加工工业项目。
1996年1月,山西省政府批准成为省级经济技术开发区。区域面积10.56平方公里,位于山西省阳泉市区东北部。
2015年5月1日,新托管郊区侯家沟、长岭、驼岭头、张家洼、路家山5个行政村和平定县庙堰村共计8.63平方公里区域面积,区域面积扩大到19.19平方公里,共辖11个行政村9个社区。
2017年7月6日,省政府下发《关于同意阳泉经济技术开发区扩区的批复》(晋政函〔2017〕86号),同意开发区扩区有关事宜。阳泉经济技术开发区采取“一区多园”模式,以阳泉经济技术开发区为主体,整合东区工业园、白泉工业园、郊区荫营工业园进行扩区,规划面积为80平方公里,分南、北两区。其中,南区规划面积60平方公里,包括现开发区19.19平方公里、白泉工业园区3.31平方公里和整合东区工业园区部分37.5平方公里;北区(荫营工业园)规划面积20平方公里。
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