*元各行省设立经过和辖境如下：
①陕西行省——中统元年，立秦蜀行省（也称陕西四川行省、陕蜀行省等），治京兆（今陕西西安），其后两次移治兴元（今陕西汉中）；至元八年罢，以京兆诸路直隶中书省。次年，封皇子忙哥剌为安西王，以京兆为其分地，置王相府治之。十七年，忙哥剌死，罢王相府，复立陕西四川行省于京兆；十八年，分设四川行省，于是只称陕西行省。辖境包括今陕西及甘肃、内蒙古部分地区。
②甘肃行省——中统二年，立西夏中兴行省，治中兴府（今宁夏银川），至元三年罢，改置宣慰司，隶中书省。八年，复立；十年，又罢。十八年，再立。次年，分设行省于甘州（今甘肃张掖），称甘州行省，二十二年罢。二十三年，徙西夏中兴行省治甘州，改称甘肃行省。辖境包括今甘肃省、宁夏自治区及内蒙古部分地区。
③辽阳行省——至元元年，置行省于北京（今内蒙古宁城西），称北京行省；二年罢，改置宣慰司，隶中书省。六年，又置行省于东京（后改辽阳，今属辽宁省），称东京行省，后徙治北京。十五年，又改为宣慰司。二十三年，以东北诸王所部杂处，宣慰司位轻，不足镇抚，再立东京行省，同年罢。二十四年，因乃颜叛乱，复置辽阳行省，以控制东北州县。辖境包括今辽宁、吉林、黑龙江三省及黑龙江以北、乌苏里江以东地区。
④河南江北行省——至元五年，因攻宋战争需要，立河南行省。十年，分立荆湖、淮西两行枢密院负责攻宋，罢行省，河南路仍直隶于中书省。二十八年，立河南江北行省，治汴梁（今河南开封），并割江淮行省所领江北州郡隶之。辖境包括今河南省及湖北、安徽、江苏三省的长江以北地区。
⑤四川行省——至元八年，罢陕西四川行省，另立四川行省于成都；十年罢，分置东、西川行枢密院。十五年，罢二行院，复立行省，次年复罢。十八年，从陕西四川行省中分出，又于成都置行省。其后一度再合于陕西行省，二十三年又分两省。二十五年徙四川行省治所于重庆，二十七年复还治成都。辖境包括今四川省大部及湖南、陕西部分地区。
⑥云南行省——至元十年置，治中庆（今云南昆明）。辖境包括今云南省全境，四川、广西部分地区，以及泰国、缅甸北部一些地方。
⑦湖广行省——至元十一年，初置荆湖行省于鄂州（今湖北武昌）。次年，元军取荆湖南路地，立行省于江陵以治之，称荆南行省。十四年，移治潭州（今湖南长沙），称潭州行省或湖南行省。同年，鄂州行省并入潭州，并以新得广西地属之，故又称湖广行省。十八年，徙治鄂州。辖境包括今湖南、贵州、广西三省之大部及湖北部分地区。
⑧江浙行省——至元十三年元灭宋，置江淮行省于扬州，统两淮、两浙地，又称淮东行省、扬州行省。二十一年，徙省治于杭州，称江浙行省。二十三年，还治扬州，复称江淮行省。二十六年，再次徙治杭州。二十八年，以江北州县隶河南行省，改称江浙行省。大德三年（1299），罢福建行省，以其地属江浙行省。辖境包括今江苏南部，浙江、福建二省及江西部分地区。
⑨江西行省——至元十四年置，治隆兴（今江西南昌），又称隆兴行省。十五年，并入新置的福建行省（治泉州）。同年，又立行省于赣州，次年，仍还治隆兴。后因减省江南冗官，江西、福建两省曾经几次分合。大德三年福建地并入江浙，江西单为一省。辖境包括今江西省大部及广东省。
⑩岭北行省——大德十一年置和林行省，治和林。皇庆元年（1312），改和林行省为岭北行省，和林改名和宁，仍为省治。辖境包括蒙古（人民共和）国全境、中国内蒙古、新疆一部分和原苏联现俄罗斯西伯利亚地区。
此外，元朝还于高丽置征东行省，但行省丞相由高丽国王兼任，得自辟官属，高丽国原有的政权机构和制度均不改变，财赋亦不入都省，与元朝国内诸行省性质不同。
除上述统治各大地区的行省外，元朝还设过几种专主大征伐的行省。一为征宋时所设，只称“行中书省”，不系地名；一为用兵外国时所设，系所征国名，如日本行省、交趾行省（安南行省）、缅中行省（征缅行省）、占城行省等。还有一种是授权某省负责征伐某国军事，将省名与所征国名合称，如荆湖占城行省。这些都是临时性的建置，事毕即罢。
元末农民起义爆发后，元朝政府为镇压和抗拒农民军，先后于中书省辖境内的济宁（今山东巨野）、彰德（今河南安阳）、冀宁（今山西太原）、保定、真定（今河北正定）、大同等地置中书分省。又先后设立淮南江北行省（至正十二年设于扬州）、福建行省（至正十六年设于福州，后分省泉州、建宁）、山东行省（至正十七年）、广西行省（至正二十三年）和福建江西行省（至正二十六年）。农民起义军也仿元制立行省为地方行政机构，如天完政权之江南行省、汴梁行省、陇蜀行省、江西行省，宋政权之江南行省、益都行省，以及朱元璋所置江西行省、湖广行省、江淮行省、江浙行省等。
元代行省制度的确立，是中国行政制度的一大变革。明灭元后，改行省为承宣布政使司，但习惯上仍称行省，一般简称省。省作为地方一级行政区的名称，一直沿用到现代。
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