就文字梳理一下。没有形成沿革。
1815年维也纳会议后，普鲁士王国收复和霸占了莱茵河一带地区，开始在全国范围内建省。1815-1816年建立有：
勃兰登堡省（Provinz Brandenburg / Province of Brandenburg，1815-1945），省会先后两次在波茨坦和柏林。下辖2个行政区：波茨坦（1827年柏林行政区并入）、法兰克福（治在今奥得河畔法兰克福）。
东普鲁士省（Provinz Ostpreußen / Province of East Prussia，1815-1829，1878-1945），省会哥尼斯堡。下辖2个行政区：哥尼斯堡（一译柯尼斯堡，治在今俄国加里宁格勒）、贡比嫩（一译贡比涅，治在今俄国加里宁格革州古谢夫）。1922年西普鲁士东部来属，设立西普鲁士行政区（仍治马林韦尔德），1939年恢复为马林韦尔德行政区。
西普鲁士省（Provinz Westpreußen / Province of West Prussia，1815-1829，1878-1919 ），省会先后两次在马林韦尔德和但泽。下辖2个行政区：马林韦尔德（治在今波兰滨海省东南克维曾）、但泽（治在今波兰格但斯克）。1919年由同盟国托管，1922年分割：一部割让给波兰，一部成立但泽自由市；其余部分东部并入东普鲁士省设立西普鲁士行政区，西部与波森西部合并为波森-西普鲁士省
波美拉尼亚（波莫瑞）省（Provinz Pommern / Province of Pomerania，1815-1945），省会斯德丁（治在今波兰什切青）。下辖3个行政区：斯德丁、斯特拉尔松德（治在今梅前州东北，1932年并入斯德丁）、科斯林（治在今波兰西滨海省科沙林）
西里西亚省（Provinz Schlesien / Province of Silesia，1815-1919，1938-1941），省会布雷斯劳。下辖3个行政区：布雷斯劳（治在今波兰下希隆斯克<下西里西亚>省弗茨瓦夫）、利格尼茨（治今波兰下希隆斯克<下西里西亚>省莱格尼察；1820年赖兴巴赫行政区并入）、奥珀伦（治在今波兰奥波莱）
于希利-克利夫斯-伯格省（Provinz Jülich-Kleve-Berg / Province of Jülich-Cleves-Berg，1815-1822），省会科隆。下辖2个行政区：科隆、杜塞尔多夫（克利夫斯行政区在1821年并入）
下莱茵大公国（Großherzogtum Niederrhein / Grand Duchy of the Lower Rhine，1815-1822），或者就称为下莱茵省（Provinz Niederrhein / Lower Rhine Province），因为大公就是国王，首府科布伦茨。下辖3个行政区：科布伦茨、亚琛、科里尔
威斯特伐伦（威斯特伐利亚）省（Provinz Westfalen / Province of Westphalia，1815-1946），省会明斯特。下辖3个行政区：明斯特（治在今北威州北部）、明登（治在今北威州东北角）、阿恩斯贝格（治在今北威州多特蒙德东南）
萨克森省（Provinz Sachsen / Province of Saxony，1816-1944），省会马格德堡。下辖3个行政区：马格德堡、爱尔福特、梅泽堡（治在今萨安州哈雷南部）。1944年将爱尔福特行政区划给图林根州，余部分为马格德堡省、哈雷-梅泽堡省
1817-1865调整：
莱茵省（Rheinprovinz / Rhine Province，1822-1946），省会科布伦茨。下辖5个行政区：科布伦茨、亚琛、科里尔、科隆、杜塞尔多夫。1822年由于希利-克利夫斯-伯格省和下莱茵大公国（下莱茵省）合并设立
普鲁士省（Provinz Preußen / Province of Prussia，1829-1878），省会哥尼斯堡。下辖4个行政区：哥尼斯堡、贡宾嫩、马林韦尔德、但泽。1829年由东、西普鲁士省合并设立，1878年仍分为2省
波森省（Provinz Posen / Province of Posen，1849-1920），省会波森，下辖3个行政区：波森（治今波兰大波兰省波兹南）、布朗伯格（治今波兰库维亚滨海省比得哥什）。1815年为半独立的波森大公国，1949年为防止并入波兰改建为省。1920年大部分割让给波兰，余部在1922年与西普鲁士西部合并为波森-西普鲁士省。
霍亨索伦省（Provinz Hohenzollern / Province of Hohenzollern，1850-1946），省会锡格马林根。下辖1个行政区：锡格马林根（治在今巴符州东南）。1850年由霍亨索伦-锡格马林根公国、霍亨索伦-赫辛根公国合并设立
1866年普奥战争后，普鲁士夺取了一些奥地利盟国并从丹麦夺取了少量领土。1866-1868增加的有：
汉诺威省（Provinz Hannover / Province of Hanover，1868-1946），省会汉诺威。下辖6个行政区：汉诺威、吕讷堡、奥斯纳布吕克（治在今下萨州南角）、奥里希（治在今下萨州西北角）、希尔德斯海姆（治在今汉诺威东南）、施塔德（治在今汉堡西部）。以原汉诺威王国设立，1946年英国占领后一度重设汉诺威王国。
黑森-拿骚省（Provinz Hessen-Nassau / Province of Hesse-Nassau，1868-1944），省会卡塞尔。下辖2个行政区：卡塞尔（治在今黑森州北部）、威斯巴登（治在今法兰克福西南）。1868年以原黑森大公国一部、法兰克福自由市、黑森-卡塞尔自由邦、巴伐利亚公国一部合并设立，基本上包围黑森大公国的上黑森省；1929年瓦尔德克自由邦并入卡塞尔行政区；1944年分为库尔黑森省、拿骚省。
石勒苏益格-荷尔施泰因省（Provinz Schleswig-Holstein / Province of Schleswig-Holstein，1868-1946），省会基尔，曾一度迁到石勒苏益格。下辖1个行政区：石勒苏益格（1868年荷尔施泰因行政区并入）。以德占丹麦地区设立；1876年，萨克森-劳恩堡公国并入；1920年石勒苏益格北部割让给丹麦
1869年之后的变化：
柏林省（1881-1945）：1881年柏林从勃兰登堡省分离为一个省，同时是一个直辖市。1920年析勃兰登堡省一部来属。
波森-西普鲁士省（Provinz Posen-Westpreußen / Province of Posen-West Prussia，1922-1938），省会施奈德米尔。辖1个行政区：施奈德米尔（治今波兰大波兰省北部皮瓦）。1922年以波森西部和西普鲁士西部合并设立。1938年分割并入波美拉尼亚省、勃兰登堡省、西里西亚省。
下西里西亚省（Provinz Niederschlesien / Province of Lower Silesia，1919-1938，1941-1945），省会布雷斯劳。辖2个行政区：布雷斯劳、利格尼茨。1919年以西里西亚省布雷斯劳、利格尼茨2个行政区设立；1938年一度与上西里西亚省合并恢复西里西亚省，1941年仍分为2省
上西里西亚省（Provinz Oberschlesien / Province of Upper Silesia，1919-1938，1941-1945），省会奥珀伦，1941年复省时改在卡托维茨。辖2个行政区：奥珀伦、卡托维茨（以东上西里西亚设立）。1919年以西里西亚省奥珀伦行政区设立，1922年将东上西里西亚正式割让给波兰；1938年一度与上西里西亚省合并恢复西里西亚省，1941年仍分为2省，并收复东上西里西亚，设立卡托维茨行政区
库尔黑森省（Provinz Kurhessen / Province of Kurhessen，1944-1945），省会卡塞尔。辖1个行政区：卡塞尔。1944年以黑森-拿骚省卡塞尔行政区设立
拿骚省（Provinz Nassau / Province of Nassau，1944-1945），省会威斯巴登。辖1个行政区：威斯巴登。1944年以黑森-拿骚省威斯巴登行政区设立
马格德堡省（Provinz Magdeburg / Province of Magdeburg，1944-1945），省会马格德堡。辖1个行政区：马格德堡。1944年以萨克森省马格德堡行政区设立
哈雷-梅泽堡省（Provinz Halle-Merseburg / Province of Halle-Merseburg，1944-1945），省会梅泽堡。辖1个行政区：梅泽堡。1944年以萨克森省梅泽堡行政区设立
实际上在1933年，纳粹德国冻结了各省，但各项关于省的调整仍有进行。在1945年被盟军占领后，盟军设立各类管制政权，事实解体。并于1947年2月正式废除。
