初创时期
(一) 晋察冀边区政府成立
在抗日战争的烽火中，一九三八年一月十日晋察冀边区在河北阜平召开第一届军政民代表大会。十五日，大会选举产生了边区最高行政机关——晋察冀边区行政委员会(即边区政府)，以聂荣臻、宋劭文、胡仁奎、张苏、刘奠基、吕正操、孙志远、娄凝先、李杰庸等九人为委员，以孟阁臣、王斐然、张仲翰等三人为候补委员。
边区政府最初的机构设置和干部配备如下：宋劭文为主任委员兼财政处长，槐胡仁奎为副主任委员兼民政处长，刘奠基兼教育处长，张苏兼实业处长，娄凝先兼秘书长，冯振寰任司法处长①（继任处长蒋自力，蒋离职后，一九四O年起由王斐然接任）。
(二) 边区政府所属三个政治主任公署及其演变
边区行政委员会成立后，将所辖地区划分为三个行政区，设立三个政治主任公署：晋东北政治主任公署、冀西政治主任公署、冀中政治主任公署。
①晋东北政治主任公署，主任由宋劭文兼。不久，改为晋东北行政督察专员公署(简称“专署”)，由边区行政委员会宜接管辖，计有二十个县。一九三九年八月，阎锡山为和我争夺地盘，硬从该区内划出（灵丘、广灵、怀仁、大同、应县、浑源、山阴等）雁北八、九个县，成立山西省“第十一专署”，委任白志沂为专员兼保安司令。边区行政委员会为抵制这一行动，加强我对雁北察南地区的领民九月二十二日，在该处设置“察南雁北办事处”，调冀西一专署专员王斐然任办事处主任，一九三九年十月，在打退国民党第一次反共高潮的斗争中，白志沂被赶跑，该处即暂为边区第十一专署。
②冀西政治主任公署，主任由张苏兼。一九三八年秋，粉碎日寇围攻后，边区行政委员会在冀西政治主任公署下设置三个专署，即：冀西一专署 涞源、徐水、易县、满城、蔚县等），专员王斐然（后由陈一凡继任），冀西二专署 唐县、望都、完县、阜平、曲阳、定县等县），专员张冲；冀西三专署 平山、灵寿、行唐、井获、正定等县)，专员徐达本。年底，冀西政治主任公署撤销，各专署由边区行政委员会直接管辖。
一九三九年二月，肖克为首的冀热察挺进军在平西成立，平西抗日政权得到巩固与统一。三月七日，边区行政委员会在平西设置冀西第四专署，专员杜伯华，辖房良、涞涿、昌宛、宣涿怀四个联合县政府。
③冀中政治主任公署。一九三八年四月一日建于安平，主任吕正操，副主任李耕祷。
一九三八年秋，与冀西同时，在冀中政治主任公署之下设立四个专署，即：冀中一专署 河间、深县、武强、饶阳、肃宁、献县、青县、交河、沧县），专员兼河间县县长冯钧；冀中二专署 蠡县、安平、深泽、无极、定县、安国、博野、正定、新乐等），专员兼因县县长王文仲；冀中三专署 文安、新镇、安次、霸县、永清、静诲、大城、任丘等），专员兼文安县县长仇友文，冀中四专署(辖雄县、固安、新城、容城、徐水、安新、新安、高阳、清苑等)，专员兼雄县县长韩德三。不久，一九三九年初，即由郑厚庵继任四专署专员兼高阳县县长。
一九三九年二月，在日寇对冀中实行五次围攻的紧急形势下，为加强对敌斗争，冀中专署独立，专员不再兼任县长，专署辖区调整，以便与军分区配合行动，建立起各分区的军政民领导机关，并增设了冀中五专署，辖锥县、固安、新城、水清、霸县、安次、新镇、静海等县，专员李风林。
一九四O年三月二十日，冀中政治主任公暑撤销，改设冀中行暑，在冀中代行边区行政委员会职能，主任吕正操，副主任徐达本（后由吴砚农接任）。
(三) 边区专署按统一顺序排列
一九四O年夏天(五一七月)，边区行政委员会结合民主大选运动，将所辖各专署按统一顺序进行编排，并对区别和干部配备作了调整，结果如下
晋东北设两个专署即：
一专署 （晋东北专署)，专员吕东，辖五台、定襄、孟县、县、代县、平定、寿阳、忻县、阳曲、榆次。
二专署 （察南雁北办事处)，专员李洛，辖灵丘、广灵、应县、浑源、繁峙等县。
冀西设四个专署，即：
三专暑 （冀西一专署)，专员陈一凡，辖易县、涞源、满城、徐水、定兴、厨县。
四专署 （冀西二专署)，专员张冲，辖唐县、完县、望都、阜平、曲阳、定县。
五专署 （冀西三专署)，专员邵式平（后由程宏毅接任），辖平山、并径、灵寿、行唐、新乐、正定、获鹿
六专署（原冀西四专署），专员朱其文，辖房良、宛平、宣涿怀、昌怀、昌延等县。
冀中区设四个专署，即：
七专署专员吴树声，辖深南、束冀、赵藁栾、晋县、宁晋、藁城、藁正获、束北。
八专署专员蓝田，辖深北、藁无、安平、深极、晋北、定县、新乐、安国，
九专署专员邸清哲，辖饶阳、武强、献县、任河、献交、河间、青县、大城、文新、建国。
十专署专员张孟旭，辖肃宁、高阳、蠡县、博野、之光、任丘、安新。
原冀中五专署区别不变，改为十一专署，专员任志远。一九四O年下半年划归冀北办事处领导。
(四) 十三、十四专暑和冀北办事处的成立
一九四O年上半年，由于冀东游击战争的蓬勃开展和冀热察挺进军向平北的胜利进军，开辟了冀东、平北游击根据地。七月二十五日，边区行政委员会决定，在冀东设十三专署辖丰滦迁、遵化、丰玉遵、迁遵兴、蓟平密等，专员焦若愚，在平北设十四专署辖昌延怀、龙祟赤、龙延怀、昌怀密等联合县，专员张季樵。
一九四O年十二月二十六日，边区行政委员会为加强对冀热察地区政权工作领导，决定设立冀北办事处，领导平西六专署、十一专署和平北十四专署，主任由六专署专员朱其文兼(一九四二年三月，十一专署重新划归冀中领导)。
至此，边区行政委员会下共设置了一个冀中行署、一个冀北办事处、十三个专署和九十余个县政府，边区政府行政系统日臻完备。
